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专利名称：透射电镜样品制备方法及透射电镜样品专利类型：发明专利
发明人：庞凌华,段淑卿,陈玉华申请号：CN201010263315.7申请日：20100824公开号：CN102374942A公开日：20120314
摘要：本发明的透射电镜样品，包括：衬底，位于所述衬底上的关注区域，在所述衬底和所述关注区域上依次形成有介质层和金属层，所述介质层的衬度与所述关注区的衬度差值大于预定值。透射电镜样品的制备方法，包括：提供衬底，所述衬底上形成有关注区域；在所述关注区域及所述衬底上形成介质层；在所述介质层上形成金属层，其中，所述介质层的衬度与所述关注区的衬度差值大于预定值；截取透射电镜样品，所述透射电镜样品包括所述关注区域、所述介质层以及所述金属层。本发明透射电镜样品的制备方法简单易行，透射电镜样品可以得到更清晰准确的透射电镜图像。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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