（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201611029150.0 （22）申请日 2016.11.21 （71）申请人 力航
地址 美国密歇根州西布鲁姆菲尔德市48323
（10）申请公布号 CN106835178A
（43）申请公布日 2017.06.13
（72）发明人 力航;江航
（74）专利代理机构 武汉楚天专利事务所
代理人 孔敏
（51）Int.CI
C23G5/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
新型间接式高温氟化氢离子气体清洗反应剂、工艺及装置
（57）摘要
本发明提供一种新型间接式高温氟化氢离
子气体清洗反应剂，由以固态CrF
法律状态
法律状态公告日
2017-06-13 2017-06-13 2017-06-13
公开 公开 公开
法律状态信息
公开 公开 公开
法律状态
法律状态公告日
2017-07-07 2017-07-07 2019-05-07
法律状态信息
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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