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专利名称：一种大幅面激光刻蚀系统及控制方法专利类型：发明专利发明人：周少华,齐飞,丁维书申请号：CN201510479694.6申请日：20150807公开号：CN105149791A公开日：20151216
摘要：发明属于激光刻蚀技术领域，具体是一种大幅面激光刻蚀系统及控制方法，包括计算机、固体激光器、三维位移系统、位置检测系统、振镜系统、振镜高度自适应系统、伺服电机系统。方法：三维位移系统将激光聚焦中心移动至位移系统的左基准零点，计算机将指令发送到三维位移系统，三维位移系统的小车匀速沿X轴向右移动，计算机接收小车的实际位置信号，控制振镜系统和固体激光器在相应的位置进行激光刻蚀，当小车运动到X轴右减速传感器后减速运动，小车停靠在右基准零点，三维位移系统沿Y轴移动设定距离，Y轴停止运动，小车沿X轴向左匀速运动，开始第二分割层的刻蚀。本发明功耗小，效率高，刻蚀精度高。满足各种尺寸图案的刻蚀。
申请人：武汉嘉铭激光有限公司
地址：430223 湖北省武汉市东湖开发区华师园北路16号
国籍：CN
代理机构：武汉天力专利事务所
代理人：苏胤杰
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