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薄形硅晶片的制备方法[发明专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:薄形硅晶片的制备方法专利类型:发明专利发明人:姚罡,李红军,徐军申请号:CN201010169382.2申请日:20100507公开号:CN102234840A公开日:20111109

摘要:一种薄形硅晶片的制备方法,包括:①制备籽晶、②安装籽晶、③配料、④化料、⑤生长晶体和⑥对所述的带状的硅晶体进行少量加工等步骤,即可获得所需要的薄形硅晶片。本发明从晶体生长过程就控制硅晶体形状和尺寸,减少了晶体加工时的物料浪费和能耗。

申请人:姚罡,李红军,徐军

地址:200129 上海市浦东新区凌河路38弄10号201室

国籍:CN

代理机构:上海新天专利代理有限公司

代理人:张泽纯

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