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专利名称：硅片校准装置专利类型：实用新型专利发明人：李峰,王迎松
申请号：CN201822175678.X申请日：20181224公开号：CN209045510U公开日：20190628
摘要：本实用新型涉及半导造技术领域，提供一种硅片校准装置，包括两个垂直于硅片的传输方向并排设置的推顶装置。两推顶装置均包括固定板、同步带传动机构、连接组件、步进电机以及校准推板，步进电机安装于固定板的一侧，同步带传动机构包括第一辊轴、第二辊轴以及绕于第一辊轴和第二辊轴之间的传动皮带，第一辊轴连接于步进电机的输出端，第二辊轴枢接于固定板且与步进电机安装于固定板同一侧，校准推板位于固定板的另一侧，连接组件的一端固定连接于传动皮带，连接组件的另一端穿过固定板连接于校准推板。由于由步进电机提供动力输出，使得校准推板的给进校准动作更加精准，也见减小校准过程中对硅片的损伤。
申请人：深圳市聿知科技有限公司
地址：518000 广东省深圳市罗湖区桂园街道深南中路鸿隆世纪广场B座27E
国籍：CN
代理机构：深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：寇闯
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