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专利名称:单晶硅晶片检测仪专利类型:实用新型专利发明人:甄伟,赵松彬
申请号:CN201720531819.X申请日:20170515公开号:CN206710342U公开日:20171205
摘要:单晶硅晶片检测仪,包括发射组件和接收组件,其特征在于:发射组件,包括工作台、X射线发生器和X射线光闸,工作台水平设置,X射线发生器固定设置在工作台的上端面的左端,X射线光闸固定装设在X射线发生器的右端面上。接收组件,包括测角仪、支板、闪烁探测器、定位轴和连接板,测角仪水平固设在工作台的上端面的右端,连接板设置在测角仪的上端面上。测角仪的主轴穿过连接板上的轴孔,连接板的右端上端面上固定设置有支柱。定位轴的下端插入长条孔内。在定位轴的上端面上固定连接有闪烁探测器管夹,闪烁探测器设置在闪烁探测器管夹的夹持部分内。本实用新型具有不破坏单晶硅晶片样品、使用方便、结构简单、定向精度高等优点。
申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司
地址:118000 辽宁省丹东市高新技术产业开发区A-050号
国籍:CN
代理机构:沈阳利泰专利商标代理有限公司
代理人:吴维敬
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