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晶棒治具及晶棒研磨方法[发明专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:晶棒治具及晶棒研磨方法专利类型:发明专利

发明人:苏双图,张洁,林武庆,赖柏帆申请号:CN201910885512.3申请日:20190919公开号:CN110509132A公开日:20191129

摘要:本发明提供了一种晶棒治具及晶棒研磨方法,涉及晶棒研磨相关设备的技术领域,该晶棒治具包括底座,底座上设置有多个高度调节机构,每个高度调节机构的一端设置有安装部,安装部用于安装晶棒。本发明通过在底座上设置多个高度调节机构,且多个高度调节机构能够对其各自的安装部的高度进行调节,相应的,可通过调节每个高度调节机构使得安装部上的晶棒的端面处于同一高度,如此,可将多根晶棒的端面同时与砂轮研磨面调整到合适位置,因此在端面研磨机上,进行一次治具的安装后,可进行多根晶棒的研磨,提高了端面研磨机的磨削效率。

申请人:福建北电新材料科技有限公司

地址:362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

国籍:CN

代理机构:北京超成律师事务所

代理人:陈治位

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