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专利名称：一种用于圆柱晶片的双面研磨机专利类型：发明专利发明人：沈斌斌
申请号：CN201711007275.8申请日：20171025公开号：CN107498453A公开日：20171222
摘要：本发明涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于圆柱晶片的双面研磨机，包括：底座台、上压台和游星轮，所述底座台顶部设置有研磨腔，所述研磨腔外圈设置有内齿齿轮，所述研磨腔底部设置有底部研磨片，所述研磨腔中心设置有驱动齿轮，所述上压台包括，中心驱动盘、驱动电机和上研磨片，所述驱动电机与所述中心驱动盘相连，所述中心驱动盘与所述驱动齿轮相装配，平面方向上所述游星轮设置在所述驱动齿轮与所述内齿齿轮之间，高度方向上所述游星轮设置在所述上研磨片与所述底部研磨片之间。
申请人：德清凯晶光电科技有限公司
地址：313000 浙江省湖州市德清县武康镇长虹东街345号3号厂房南门
国籍：CN
代理机构：杭州千克知识产权代理有限公司
代理人：赵卫康
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