一种多晶硅提纯装置

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201120017725.3 （22）申请日 2011.01.20

（71）申请人 江西开昂新能源科技有限公司

地址 338000 江西省新余市经济开发区光明路1488号

（10）申请公布号 CN202022753U

（43）申请公布日 2011.11.02

（72）发明人 明瑞法;杨强;肖实生;杨建云;杨旸 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种多晶硅提纯装置

（57）摘要

本实用新型的目的是提供一种改进的

多晶硅提纯装置，包括：电磁感应熔炼单元(001)，以电磁感应加温熔融金属硅料生成高温硅液；等离子冶炼炉(200)，在真空环境下离子束吹气氧化冶炼高温硅液；恒温石英导管(101)，将等离子冶炼炉(200)内的高温硅液恒温导入电子束熔炼炉(305)；电子束熔炼炉(305)，在真空环境下以高能电子束轰击高温硅液；定向凝固单元(401)，使从电子束熔炼炉(305)流出的高温硅液在上下温度梯度下定向冷却凝固并均匀拉坯。本实用新型将离

子束吹气氧化和电子束熔炼在各自的真空环境进行，提供最优除杂提纯工艺。设备简单，成本低廉，工艺可控，减少中间污染环节，实现了低能耗、快速高效生产太阳能级多晶硅。 法律状态

法律状态公告日2011-11-02 2017-03-15

法律状态信息

授权 专利权的终止

法律状态

授权

专利权的终止

权利要求说明书

一种多晶硅提纯装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

一种多晶硅提纯装置的说明书内容是....请下载后查看