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专利名称：保持光刻系统中的部件的组合件和光刻系统专利类型：发明专利发明人：J.韦赛林
申请号：CN201680006674.X申请日：20160115公开号：CN107209462A公开日：20170926
摘要：本发明涉及一种保持光刻系统(100)中的部件(M6)的组合件(200)，组合件包括对部件(M6)施加补偿力的重力补偿装置(202)和调节装置(400)。重力补偿装置(202)至少部分地补偿作用在部件(M6)上的重力。调节补偿力的所述至少一个调节装置(400)包括具有可调节的永久磁化的第一磁体(500)和调节第一磁体(500)的永久磁化的装置(510)。
申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
地址：德国上科亨
国籍：DE
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：王蕊瑞
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