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专利名称：多路复用激光调频外差干涉光纤维测量仪专利类型：发明专利
发明人：田芊,郑刚,李达成,梁晋文申请号：CN90110041.2申请日：19901229公开号：CN1052369A公开日：19910619
摘要：一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量 仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源 的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频 域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适 用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不 小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面 粗糙度具有3以上光洁度的物体的测量，具有灵敏 度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头 体积小、结构紧凑、成本较低、具有广阔的应用领域。
申请人：清华大学
地址：100084 北京市海淀区清华园
国籍：CN
代理机构：清华大学专利事务所
代理人：廖元秋
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