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专利名称：一种对准测量装置和一种对准系统及方法专利类型：发明专利
发明人：忻斌杰,于大维,孙建超申请号：CN201610285781.2申请日：20160429公开号：CN107342239A公开日：20171110
摘要：本发明一种对准测量装置和一种对准系统及方法，在成像透镜与探测装置之间设置了微透镜阵列，调整微透镜阵列即可使不同焦距处的测量对象的光线到达探测装置探测面的不同位置上，这样在信号探测装置上可以形成位于不同景深的测量对象的图像，将这些不同景深的测量对象的图像经过运算单元运算后即可得到不同景深的测量对象所在的位置，该位置包括水平坐标和垂直坐标，这样在对准系统中，可使用控制系统根据运算得到的测量对象所在的位置控制移动平台移动，使得所有的测量对象对准。该装置和方法能够只需成像一次即可计算得到不同景深测量对象所在的位置，无需多次扫描成像，因此操作简单方便，省时省力。
申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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