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专利名称：一种半导体热板光刻装置专利类型：实用新型专利发明人：徐宏进
申请号：CN202020578442.5申请日：20200417公开号：CN211554637U公开日：20200922
摘要：本实用新型涉及半导体热板加工技术领域，公开了一种半导体热板光刻装置，包括机台，所述机台顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨，导轨上活动连接有自行走底座，自行走底座上部中间位置竖直向上固定连接有气缸，气缸的活塞杆上端面与支臂首端固定连接，支臂尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头。本实用新型通过硅板在传输带上等距离分布，两个电动推杆带动横板下降，直至横板前侧的连接板上的定位框贴合在传输带上，此时定位框通过定位凸块将传输带上的硅板进行卡住固定，避免现有技术中仅仅将硅板放置在传输带上导致光刻时硅板发生晃动的情况。
申请人：扬州国润半导体科技有限公司
地址：225100 江苏省扬州市扬州高新技术产业开发区华钢路8号1
国籍：CN
代理机构：北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人：李朦
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