专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：低温泵及低温泵的监控方法专利类型：发明专利发明人：木村敏之
申请号：CN201010230201.2申请日：20100713公开号：CN101963144A公开日：20110202
摘要：本发明提供一种低温泵及低温泵的监控方法，其实现适合于安装有低温泵的真空装置中的真空处理的运行状态的监视。低温泵从进行真空处理的真空装置的真空腔对气体进行排气。低温泵具备冷冻机、由冷冻机冷却的低温板、控制冷冻机的运行频率以将低温板控制在目标温度的控制部。控制部在冷冻机的运行频率达到第1判定基准时，对运行频率进行第1判定时间的监控，在运行频率达到相当于比第1判定基准更高负载的第2判定基准时，对低温板的温度进行短于第1判定时间的第2判定时间的监控。
申请人：住友重机械工业株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：陈萍
更多信息请下载全文后查看
