专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种压电薄膜体声波谐振器的制备方法专利类型：发明专利发明人：汤亮,乔东海
申请号：CN201010242328.6申请日：20100730公开号：CN1015269A公开日：20101124
摘要：本发明涉及一种压电薄膜体声波谐振器的制备方法，通过在第一衬底基片上制备下金属电极、压电层和上金属电极，并且在上述第一衬底基片、下金属电极、压电层和上金属电极上沉积金属薄膜，所述的金属薄膜的材料是铟或者铟锡合金，该金属薄膜经过光刻和刻蚀后得到了键合支点；在第二衬底基片上依次制备钝化层、共面波导结构和用于低温键合的键合支点；然后，利用铟或者铟锡合金低熔点的特性实现第一衬底基片上的键合支点和第二衬底基片上的键合支点的低温键合；所述的第一衬底基片采用聚酰亚胺，并且在上述两个衬底基片的键合为一体后，将成为一体的基片放入溶剂中，去除第一衬底基片，保留第二衬底基片，得到完整的压电薄膜体声波谐振器结构。
申请人：中国科学院声学研究所
地址：100190 北京市海淀区北四环西路21号
国籍：CN
代理机构：北京法思腾知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
