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专利名称：一种膜厚测量系统专利类型：发明专利
发明人：刘玉,陈喆,李承东,操金明,潘占福,刘冬,程小辉,赵晨
思
申请号：CN201611099558.5申请日：20161202公开号：CN108151661A公开日：20180612
摘要：一种膜厚测量系统，包括：测量头，适于测量待测工件上测量点的膜厚，以得到与所述膜厚关联的测量信号；机械臂，所述测量头固定于所述机械臂上；机器人控制部件，与所述测量头和机械臂耦接，适于对所述测量信号进行数据采集，并根据数据采集结果控制所述机械臂的运动；上位机，与所述机器人控制部件耦接。本发明方案膜厚测量系统膜厚测量时间短，系统响应速度快，系统成本低，且利于维护。
申请人：上海ABB工程有限公司
地址：201319 上海浦东新区康新公路4528号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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