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专利名称：用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途专利类型：发明专利
发明人：W·弗利格尔,C·克莱门特,C·维劳尔,M·舍费尔奇甘,A·
克莱茵韦希特,S·艾希勒,B·韦纳特,M·梅德尔
申请号：CN201910045917.6申请日：20140212公开号：CN109801836A公开日：20190524
摘要：本发明涉及用于制备经表面处理的砷化镓衬底的新方法，和新提供的砷化镓衬底及其用途。根据本发明的方法的改进基于特殊的最终表面处理，其中使砷化镓衬底的至少一个表面在干燥条件下借助UV辐照和/或臭氧气体进行氧化处理，使砷化镓衬底的至少一个表面与至少一种液体介质接触，以及马兰葛尼式干燥所述砷化镓衬底。根据本发明提供的砷化镓衬底显示出迄今未获得的表面性质，尤其是所述表面性质之均匀性，其可借助光学表面分析仪检测，尤其是借助椭圆偏振侧向衬底映射用于光学不接触定量表征。
申请人：弗赖贝格化合物原料有限公司
地址：德国弗赖贝格
国籍：DE
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：邹智弘
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