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差动离焦并行全场三维检测装置[实用新型专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:差动离焦并行全场三维检测装置专利类型:实用新型专利

发明人:王永红,余晓芬,俞建卫,黄其圣申请号:CN03220277.6申请日:20030306公开号:CN2600814Y公开日:20040121

摘要:差动离焦并行全场三维检测装置,由光学探头、图像采集处理和位移机构组成,以中心点同处在a光轴线上、自一侧至另一侧依次设置点光源、准直透镜、微透镜阵列、针孔阵列、a分束镜、物镜和可轴向移动的被测物载台;其特征是设置差动探测机构,在a分束镜的反射光轴线上设置b分束镜,在b分束镜的反射光轴线上以及在其透射光轴线上,分别设置反射光和透射光CCD探测器,两探测器的探测面在各自的光轴线上离焦设置,离焦距离相等、方向相反。本实用新型有效解决测量分辨率和速度间矛盾;有效抑制光源噪声和漂移产生的影响,提高测量精度。

申请人:合肥工业大学

地址:230009 安徽省合肥市屯溪路193号

国籍:CN

代理机构:安徽省合肥新安专利代理有限责任公司

代理人:何梅生

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