专利名称：分子抗蚀剂组合物、使用该成分形成衬底图案的方
法以及由其制备的产品
专利类型：发明专利
发明人：J·M·麦克莱伦,B·T·迈尔斯,K·肖汉,W·萨阿迪申请号：CN200980125804.1申请日：20090506公开号：CN102084295A公开日：20110601
摘要：分子抗蚀剂组合物、使用该组合物形成衬底图案的方法以及由此制备的工艺产品。本发明涉及包括有机胺的分子抗蚀剂组合物、使用该分子抗蚀剂组合物在衬底上形成特征的方法及由其制备的工艺产品。
申请人：纳诺泰拉公司
地址：美国马塞诸塞州
国籍：US
代理机构：北京润平知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- 91gzw.com 版权所有 湘ICP备2023023988号-2
违法及侵权请联系：TEL:199 18 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务
