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专利名称：一种高取向的氧化物压电薄膜的制备方法及压电薄
膜
专利类型：发明专利发明人：陈显锋
申请号：CN201711441965.4申请日：20171227公开号：CN108039407A公开日：20180515
摘要：本发明公开了一种高取向的氧化物压电薄膜的制备方法及压电薄膜，所述方法包括：通过旋涂法将制备的所述氧化物溶胶‑凝胶液旋涂到基板上，然后对形成的涂层进行90～330℃的加热处理，使所述涂层形成非晶态固体层，加热后的结构材料放入等离子体处理设备中，对非晶态固体层进行等离子表面处理，处理后的非晶态固体层再进一步加热，使其变为结晶体，得压电薄膜成品；所述方法容易实现，得到的压电薄膜（111）晶体取向高，（111）取向的XRD相对强度大于90%，稳定性好，重现性高，集成度好，适用于大规模生产。
申请人：佛山市卓膜科技有限公司
地址：528251 广东省佛山市南海区永安北路2号金谷光电产业社区A座405
国籍：CN
代理机构：深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王永文
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