专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：硅片干燥设备专利类型：实用新型专利
发明人：冯传彰,许本谐,谢宏亮,刘茂林,郑加元,林生海申请号：CN200820113806.1申请日：20080701公开号：CN201262946Y公开日：20090624
摘要：本实用新型一种硅片干燥设备，包含一处理槽、一液体注入装置、一底部排液装置、一侧边排液装置与一排气装置设于处理槽单边、一硅片承载装置包含一顶持件、一外围固持件与一驱动装置用以驱动该顶持件，外围固持件可分离地与顶持件连动；以及一上盖体可容纳至少一硅片于其中，并且设有至少一卡持件可松开地(releasably)卡持该硅片。
申请人：辛耘企业股份有限公司
地址：省新竹市
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：周国城
更多信息请下载全文后查看
