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专利名称：一种全光纤频域干涉纳米微位移测量系统专利类型：发明专利
发明人：翁继东,陶天炯,王翔,刘盛刚,陈宏,刘仓理,谭华,李剑
峰,蔡灵仓,王为,叶素华,李加波,傅秋卫,汪小松,贾路峰
申请号：CN201210151060.4申请日：20120516公开号：CN1025168A公开日：20120822
摘要：本发明公开了一种全光纤频域干涉纳米微位移测量系统，所述系统的宽带光源与光纤环行器的端口Ⅰ通过光纤连接，光纤环行器的端口Ⅱ与石英光纤探针的一端通过光纤连接，光纤环行器的端口Ⅲ与光谱仪通过光纤连接，各部件的尾纤之间通过法兰盘或者熔接法连接。本发明的系统具备测量纳米级微位移的能力，是一种非接触式的测量装置，能静态和动态地测量被测物体表面距探头表面距离，可以测量金属和非金属。本发明采用全光纤结构器件，大大降低操作难度，有利于装置的推广使用，抗干扰能力强。
申请人：中国工程物理研究院流体物理研究所
地址：621900 四川省绵阳市919信箱102分箱
国籍：CN
代理机构：中国工程物理研究院专利中心
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