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专利名称：一种靶材的加工方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,王学泽,陈玉蓉申请号：CN201110028684.2申请日：20110126公开号：CN102152060A公开日：20110817
摘要：一种靶材的加工方法，所述方法包括：提供靶材坯料；对所述靶材坯料按目标靶材的形状进行下料，所述目标靶材为多个分割靶材装配组成的靶材；对下料后的靶材坯料进行机械加工，得到半成品靶材；将所述半成品靶材利用线切割进行分割，得到分割靶材。本发明工艺简单，工序集中，节约成本，同时保证产品尺寸精度和产品表面凹槽纹路的一致性。
申请人：宁波江丰电子材料有限公司
地址：315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：骆苏华
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