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专利名称：一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置专利类型：实用新型专利
发明人：方峰,郑沉,王来福,安国祥,孙韶辉申请号：CN200620134195.X申请日：20061030公开号：CN201003079Y公开日：20080109
摘要：一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置，它包括装置主体，一个置于主体内的石英材质的掺杂工具，所述的装置主体包括：真空波纹管，移动挡板，真空波纹管的一端与移动挡板连接，形成密封，挡板套在金属丝杆上，金属丝杆连接手柄，移动挡板与导柱配合，真空波纹管的另一端与底板连接；所述的掺杂工具接在位于移动挡板内侧的卡套内。该装置结构紧凑，操作方便，不需要隔离上下炉室和重装籽晶。
申请人：北京有色金属研究总院
地址：100088 北京市新街口外大街2号
国籍：CN
代理机构：北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人：郭佩兰
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