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专利名称：基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法专利类型：发明专利发明人：邵鹏
申请号：CN202010842619.2申请日：20200820公开号：CN112485468A公开日：20210312
摘要：一种MEMS装置包括第一惯性质量系统和第二惯性质量系统，第一惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第一驱动质量块和第一感测质量块，第二惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第二驱动质量块和第二感测质量块。第一驱动质量块和第二驱动质量块沿平行于衬底的表面的第一轴经历反相驱动运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧锚固并悬挂与衬底的表面间隔开的第一感测质量块和第二感测质量块。第一感测弹簧和第二感测弹簧响应于绕垂直于表面的第三轴的角旋转而实现第一感测质量块和第二感测质量块沿平行于表面的第二轴的反相感测运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧另外响应于沿第二轴的线性加速度而实现第一感测质量块和第二感测质量块沿第二轴的同相感测运动。
申请人：恩智浦美国有限公司
地址：美国德克萨斯州
国籍：US
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：孙尚白
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