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专利名称：超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统专利类型：发明专利
发明人：赵宏伟,黄虎,邓金强,赵宏健申请号：CN200910066697.1申请日：20090327公开号：CN1015203A公开日：20090902
摘要：本发明涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位观察为一体的超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统。该系统主要由沿X、Y轴方向精密定位的载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、用于观测存储测试过程中材料变形、损伤状况的高分辨率数字显微成像系统组成；载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元均装配在底座上，高分辨率数字显微成像系统装在载物台上，检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和检测X、Y方向载物台精密位移的传感器I装在载物台上，用于检测压入深度Z方向金刚石工具头精密位移的传感器II通过支架I安装在底座上。
申请人：吉林大学
地址：130012 吉林春市前进大街2699号
国籍：CN
代理机构：长春吉大专利代理有限责任公司
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