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专利名称：用于形成等离子体的设备和方法专利类型：发明专利发明人：A·J·西利
申请号：CN200480011682.0申请日：20040416公开号：CN1781345A公开日：20060531
摘要：描述了一种用于处理来自半导造加工工具的排出气体流的设备。所述设备包括用于由惰性可电离气体产生辉光放电的等离子体喷。所述气体流被输送至所述辉光放电处以使等离子体点火。电磁辐射源将电磁辐射供应至所述排出气体流以维持所述等离子体。所述设备特别适于处理所述排出气体流中的全氟化合物和氢氟碳化合物。
申请人：英国氧气集团有限公司
地址：英国英格兰
国籍：GB
代理机构：中国专利代理()有限公司
代理人：廖凌玲
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