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专利名称：一种磁控溅射载物台专利类型：实用新型专利
发明人：文常保,马跃,靳雪莹,巨永锋,李演明,全思申请号：CN201520169679.7申请日：20150324公开号：CN204509456U公开日：20150729
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射载物台，包括载物板，所述载物板上方安装有底座；所述载物板底面设置有用于放置目标器件的置物槽；所述置物槽的侧壁上设置有多个金属片槽，所述多个金属槽的轴线均与所述载物板的轴线垂直；所述多个金属片槽内均安装有可相对于所述目标器件沿水平或竖直方向运动的固定装置。本实用新型设计侧壁纵截面为双曲线的底座，使得载物板与磁控溅射装置的连接更加简便；载物板底面设置有置物槽，并设置可相对于目标器件沿水平或竖直方向运动的金属片，使得本实用新型的载物台能够固定不同长度和高度的目标器件。
申请人：长安大学
地址：7100 陕西省西安市雁塔区二环南路中段126号
国籍：CN
代理机构：西安恒泰知识产权代理事务所
代理人：李婷
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