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专利名称：静电吸盘的保护治具及打磨方法专利类型：发明专利
发明人：王大为,林宗贤,吴龙江申请号：CN201711021683.9申请日：20171027公开号：CN107799456A公开日：20180313
摘要：一种静电吸盘的保护治具及打磨方法，所述静电吸盘的保护治具包括：治具主体，所述治具主体覆盖所述静电吸盘的中心区域且暴露出所述静电吸盘的边缘区域，所述边缘区域环绕所述中心区域；固定部件，适于将所述治具主体固定于所述静电吸盘。本发明方案可以避免静电吸盘被过度打磨，有助于保持所述静电吸盘的吸附性能。
申请人：德淮半导体有限公司
地址：223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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