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一种石英舟焊接定位治具[实用新型专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种石英舟焊接定位治具专利类型:实用新型专利发明人:张伟,郭辉,徐亮荣申请号:CN201920196670.3申请日:20190214公开号:CN209754391U公开日:20191210

摘要:本实用新型公开了一种石英舟焊接定位治具,属于半导体硅片载具技术领域,解决了传统石英舟火加工工序定位精确度差、对作业人员经验要求高的问题。主要包括石墨底座、石墨侧板;设置在石墨底座上的滑块Ⅰ和滑块Ⅱ;滑块Ⅰ与滑块Ⅱ之间设有用于支承石英舟槽棒的槽棒定位支撑架。本实用新型定位精确度高,大幅度提高了石英舟产品品质;结构设计简单、制造容易、操作方便,大幅度提高火加工工序的加工效率;对组焊作业人员的经验要求低,企业无需花费精力培训作业人员,大幅度降低企业生产成本;制造成本低,实用性很强,应用广泛,在石英舟加工技术领域具有重要意义。

申请人:扬州美和光电科技有限公司

地址:225000 江苏省扬州市邗江区运河北路五丰商贸2号楼

国籍:CN

代理机构:扬州润中专利代理事务所(普通合伙)

代理人:方玲

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