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专利名称：制备结构可控功能薄膜的装置专利类型：实用新型专利发明人：王美涵
申请号：CN201620235960.0申请日：20160325公开号：CN205473952U公开日：20160817
摘要：本实用新型属于薄膜制备领域，具体为一种制备结构可控功能薄膜的装置。该装置为真空装置，由包括一个溅射靶材、一个工件台、一个传动机构和一个转动机构在内的真空腔体组成，传动机构为驱动电机、驱动轴和齿轮传动装置构成，转动机构为分度盘、磁力转动装置、工件台支撑装置构成；溅射靶材、工件台、齿轮传动装置和工件台支撑装置置于真空腔体内，驱动电机、驱动轴、分度盘、磁力转动装置置于真空腔体外。驱动电机上的皮带与驱动轴相连，驱动轴延伸至真空腔体内与齿轮传动装置连接，实现工件台自转。转动分度盘呈一定角度，通过磁力转动装置使工件台支撑装置呈一定角度，实现工件台与靶材形成一定角度，进而在工件上沉积结构可控功能薄膜。
申请人：沈阳大学
地址：110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号
国籍：CN
代理机构：沈阳火炬专利事务所(普通合伙)
代理人：李福义
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