晶圆检测系统及检测方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201911180562.8 （22）申请日 2019.11.27

（71）申请人 长江存储科技有限责任公司

地址 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

（10）申请公布号 CN110954007A

（43）申请公布日 2020.04.03

（72）发明人 张卫涛;丁小叶;张伟;屠礼明;周毅

（74）专利代理机构 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 陈敏

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

晶圆检测系统及检测方法

（57）摘要

本发明提供一种晶圆检测系统及检测方

法，通过晶圆检测系统中的具有至少两个光源的晶圆检测设备，以提供不同波长的光束，获得针对相同的晶圆表面且与每个光源相对应的干涉图像，并通过对干涉图像的数据分析，以对晶圆表面进行检测；进一步的，晶圆检测系统通过两个晶圆检测设备，还可实现同时分别对晶圆的正面及背面进行检测，以提高晶圆检测系统的工作效率。本发明通过具有不同波长的至少两个光源，

可对相同的晶圆表面进行检测，获得互补的干涉图像，从而可提高对晶圆表面检测的准确性。

法律状态

法律状态公告日

2020-04-03 2020-04-03 2020-05-01

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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