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专利名称：一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备专利类型：实用新型专利发明人：钱栋力
申请号：CN201820174857.9申请日：20180201公开号：CN208023082U公开日：20181030
摘要：本实用新型公开了一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备，由镀膜设备构成，所述镀膜设备由镀膜箱和加热设备构成，所述加热设备位于镀膜箱的底端且通过固定架与镀膜箱固定连接，所述镀膜箱顶部设有放电箱，所述放电箱内部设有离子发生器，所述镀膜箱侧壁上设有真空泵，所述真空泵内的旋转叶通过轴承于真空泵电机连接，所述镀膜箱内部设有基片夹具和坩埚，所述基片夹具的一端上设有基片，另一端通过导电装置与离子发生器连接，通过控制芯片内的智能模块的设计，使得整个镀膜设备变得智能化和人性化，通过控制芯片上的定时模块、控制模块和解析模块的协调确保了整个镀膜流程无需人力监管，从而解决了人力资源的输出问题。
申请人：浙江通达磁业有限公司
地址：314407 浙江省嘉兴市海宁市周王庙镇桑梓南路12号
国籍：CN
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