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专利名称：宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅专利类型：发明专利
发明人：晋云霞,陈俊明,邵建达,孔钒宇,黄昊鹏,陈鹏,王磊磊,
李林欣,徐姣
申请号：CN201710000720.1申请日：20170103公开号：CN106772734A公开日：20170531
摘要：一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特点在于由顶部光栅脊结构、中间高反射率薄膜层和底部基底构成光栅结构，其中顶部光栅脊结构为非对称形貌，所述的非对称形貌为四边形的底角α和β不相等。本发明的非对称形貌反射型光栅在入射角度为‑1级利特罗角时，在80纳米带宽范围内可获得‑1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱内具有高于95％的‑1级衍射效率，实现在较宽的带宽和较宽的入射角范围内工作。本发明性能优越，结构简单，可大批量生产，在高功率激光领域具有重要的实用前景。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：张宁展
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