维修手册_5定期检查_2

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1.4.1 彩色接触面板的清扫 使用工具 棉纱布等 请对彩色接触面板进行清扫。 彩色接触面板上附着污垢是发生错误性操作的主要原因。 ∗ 对彩色接触面板除每周清扫一次以外，还应随时进行清扫。 需要时间 1分钟 1. 将电源开关置于OFF (O)。 2. 彩色接触面板要用干净柔软的布擦拭。 ∗ 请不要使用溶剂。另外，注意不要撞击、损伤彩色接触面板。 ∗ 如因污垢顽固，用棉纱布不易擦掉，可将棉纱布稍微蘸些稀释的中性洗涤剂擦拭。 EJM4A-059P EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-47

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1.4.2 吸嘴座的清扫 (高速吸头) 使用工具 ∗ 虽然在此以高速吸头 (12吸嘴) 为例进行说明，但是高速吸头 (8吸嘴) 也是同样的步骤。 棉纱布等·气·镊子·清扫用管 (内径φ6 mm)·棉棒 1小时 需要时间 吸嘴座用治具 (N610037354AA) 要求 该维护作业，应在电源开关处于ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业时，请务必使伺服开关处于OFF (O)，并打开安全盖。(打开安全盖可以切断向XY电机的供电) 在此，对设置在移载吸头上的吸嘴座的清扫方法进行说明。 ∗ 在进行维护作业时有必要拆卸供料器工作台盖和整体交换台车。 “1.2.2 整体交换台车的拆卸和安装、1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”) ( 󰂄 作业工序 1. 选择作业位置 (工作台) 2. 拆卸 A. 从移载吸头上卸下吸嘴座 B. 从吸嘴座上卸下吸嘴 3. 清扫 A. 清扫吸嘴座 B. 清扫吸嘴座的轴 4. 确认和安装吸嘴的配置 A. 把吸嘴安装在吸嘴座上 B. 确认吸嘴的配置 C. 把吸嘴座安装在移载吸头上 5. 再次确认吸嘴的配置 Page 1-48 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

󰂄 吸嘴座 移载吸头 (高速吸头(12吸嘴)) EJM4A-152E 名称 1234444C-503P 6 EJM4A-074P 5No. 说明 该弹簧上附着污垢，是造成吸嘴缓冲不良的主要原因。 吸嘴座内外周围附着污垢，是造成动作不良、吸着错误的主要原因。 它是压紧夹具爪的部分。弹簧上附着污垢是造成吸嘴夹具不良的主要原因。 吸嘴座的锥形面上如果附着污垢，在夹紧吸嘴时将无法与吸嘴锥形面紧密接触，容易发生空气泄漏。在这种状态下吸嘴将无法正常地吸着芯片，是造成实装精度劣化，吸着错误等的主要原因。 是直接抓住吸嘴的部位。由于吸嘴是精密部件所以一旦夹具爪上附着污垢它将无法正确地抓住吸嘴，产生空气泄漏。这是造成吸着、实装错误的主要原因。 位于空气路径内。是防止空气中的灰尘进入机器内部的机器。此处如果灰尘等污垢堆积吸嘴尖端部位真空的上升将变慢，无法充分发挥机器的原有性能。 󰁣 吸嘴缓冲用弹簧 󰁤 吸嘴座的内外周边部位 󰁥 吸嘴夹具爪压紧用弹簧 󰁦 吸嘴座锥形面 󰁧 夹具爪 󰁨 真空过滤器 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-49

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1. 选择作业位置 (工作台) 1. 使<维护动作>画面显示。 ( “1.1.2 维护动作”) 2. 选择工作台。 2 EJM4A-Mp-0087 Page 1-50 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

2. 拆卸 A) 把吸嘴座从移载吸头上卸下 使用<维护动作>画面，把移载吸头移动到吸嘴交换作业位置上。然后请把吸嘴座卸下。 如果设置有选购件的吸嘴交换器，请在此卸下吸嘴。 1. 确认安全盖是否是关着的。然后将伺服开关置于ON ( I )。 2. 按动操作面板上的 位置]。 + [芯片排出2EJM4A-Mp-0087 • 吸头将移动到芯片的排出位置上。 芯片的排出位置 EJM4A-100E 3. 将伺服开关置于OFF (O)。 4. 打开安全盖。 下一页 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-51

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 5. 已安装有吸嘴时，把吸嘴轻轻拿住，并将其推到上方。 567 向逆时针方向旋转。6. 在推到上方的状态下， 7. 从移载吸头上将吸嘴座慢慢地向下拔出，并将其拆卸。 EJM4A-085P ∗ 在拔吸嘴座时，注意防止吸嘴缓冲用弹簧弹出。 ∗ 夹具爪压紧用弹簧容易发生变形等故障，所以请不要用手指硬压。 ∗ 请用同样地步骤，把所有的吸嘴座都从移载吸头上卸下。 Page 1-52 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

B) 从吸嘴座上拆卸吸嘴 (吸嘴座和吸嘴同时拆下时) ∗ 请握住吸嘴反射板的边缘，如左图所示把吸嘴座水平拔出。 ∗ 如下图所示，拔出方法不正确时会造成夹具爪脱落。 <吸嘴的不良拆卸方法> 夹具爪压紧用弹簧 夹具爪 444C-406E 吸嘴 吸嘴座 1. 先将吸嘴座和吸嘴分离。 EJM4A-086P EJM4A-087P EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-53

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 3. 清扫 A) 吸嘴座及过滤器的清扫 1. 将蘸有酒精的棉棒插到吸嘴座上，按吸嘴旋转方向转动2 ~ 3圈。 ∗ 吸嘴座一直要放置到内部的酒精挥发干净为止。 444C-483P 2. 用蘸酒精的棉棒擦拭吸嘴配合面和夹具爪的尖端部。 4Z4C-513P 要求 吸嘴座尖端部 (过滤器部) 以及夹具爪压紧弹簧，请勿用棉棒擦拭。 如果用棉棒擦拭吸嘴座尖端部，有引起过滤器被污垢堵塞的危险。另外，擦拭夹具爪压紧弹簧，有防锈作用的润滑脂也被擦拭掉，则会有弹簧生锈的危险。仅在A的部分,用棉棒清扫。 吸嘴座尖端部 (过滤器部) A 4Z4C-804P 夹具爪压紧用弹簧 Page 1-54

下一页 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

3. 用气将吸嘴座锥形面、夹具爪、夹具爪压紧用弹簧以及过滤器上的污垢吹净。 ∗ 清扫过滤器时，请往箭头󰁣所示的方向喷上空气。 1 4Z4C-523P 4Z4C-514P 4. 用棉纱布将吸嘴座外部的污垢擦拭干净。 4Z4C-515P 5. 用棉纱布将吸嘴缓冲用弹簧上的污垢擦拭干净。 ∗ 弹簧发生变形时请加以更换。如果使用变形的弹簧，会引起吸嘴座摺动不良，发生吸着错误或实装错误。另外，当吸嘴座无法拆卸时有时会需要对吸头进行分解处理。 ∗ 将弹簧设置于吸嘴座上时，请确实压到底部。另外，请注意作业中的丢失。 4Z4C-516P EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-55

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 B) 吸嘴座轴的清扫 套在吸嘴座轴上、1. 将清扫用管浸在酒精里，按照吸嘴旋转方向转2 ~ 3圈。 ∗ 清扫用管的每个轴都要浸在酒精里后，将其冲洗干净。 ∗ 吸嘴座轴一直放置到外围酒精挥发干净为止。 EJM4A-097P Page 1-56 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

4. 吸嘴配置的确认和安装 A) 将吸嘴安装到吸嘴座上 ∗ 请握住吸嘴反射板的边缘，如左图所示水平按进去。 ∗ 如下图所示，安装方法不正确时会造成夹具爪脱落。 <吸嘴的不良安装方法> 夹具爪压紧用弹簧 夹具爪 444C-407E 1. 把吸嘴安装到吸嘴座上。 EJM4A-087P EJM4A-086P 吸嘴 吸嘴座 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-57

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 B) 吸嘴配置的确认 请确认安装吸嘴座的位置。 根据有无吸嘴交换器 (选购件) 显示画面和作业步骤也有所不同。 1. 在<维护动作>画面上，按[吸嘴设定]。 • [吸嘴设定]的画面将被显示。 1 EJM4A-Mp-0087 2. 确认吸嘴配置。 EJM4A-Pc-0019 ∗ 无吸嘴交换器时，将显示左侧的画面。 有吸嘴交换器时，如果动作设定的‘自动吸嘴交换中止’设定为‘有’，也将显示此画面。 ∗ 设置吸嘴交换器时，将显示左侧画面。 EJM4A-Pc-0021 Page 1-58 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

C) 将吸嘴座安装在移载吸头上 在插入时，要把与吸嘴座定位用的突起部位插到与移载吸头定位用的沟槽上。 定位用的突起部位 移载吸头定位用的沟槽 444C-461P 444C-462P 要求 该维护作业，应在电源开关处于ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业时，请务必使伺服开关处于OFF (O)，并打开安全盖。(打开安全盖可以切断向XY电机的供电) 1. 将伺服开关置于OFF (O)。 2. 打开安全盖。 3. 为防止吸嘴缓冲用弹簧弹出，请垂直抬起吸嘴座，将吸嘴座安装在移载吸头上。 345 ∗ 请将吸嘴座在无弹簧的状态下组装到机器上,并请确认吸嘴座因自重而下降到下限。 4. 吸嘴座按顺时针方向旋转。 5. 在旋紧的位置上，一边确认定位用的突起部位是否能插入定位用的沟槽内，一边把手松开。 4Z4C-512P 定位用的沟槽 6. 关闭安全盖。 7. 将伺服开关置于ON ( I )。 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-59

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 5. 吸嘴配置的再确认 请确认安装后的吸嘴上有无配置上的错误。移载吸头的吸嘴配置可以使用线路照相机使本机器进行确认。 1. 按操作面板上的 认]。 + [吸嘴设置确 • 移载吸头将在线路照相机上移动。这样就可以进行有无吸嘴等的各项验证。 2. 按功能键的 数次。 EJM4A-C-Pc-0019 12 • <主菜单>画面将被显示。 Page 1-60 EJM4A-C-MMA01-A03-01CM602-L

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

󰂄 当安装后的吸嘴上出现配置错误时 1. 将伺服开关置于OFF (O)。 2. 打开安全盖。 3. 将吸嘴重新安装在正确的配置上。 EJM4A-085P 4. 关闭安全盖。 5. 将伺服开关置于ON ( I )。 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-61

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1.4.3 移载吸头的清扫 (多功能吸头) 使用工具 一字螺丝刀·气·棉纱布·棉棒·镊子 需要时间 30分钟 在此，将对移载吸头的吸嘴座和真空过滤器的清扫进行说明。 首先应了解各元件的功能，按步骤进行维护。 ∗ 在进行维护作业时有必要拆卸供料器工作台盖和整体交换台车。 “1.2.2 整体交换台车的拆卸和安装、1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”) ( 󰂄 吸嘴和吸嘴座 吸嘴是直接接触实装部品，进行吸着、实装的工具。 吸嘴座位于移载吸头的下方，用于夹住吸嘴。 移载吸头 吸嘴 (有吸着垫圈) 吸嘴座 吸嘴座锥形面 如果吸嘴座的锥形面上附着污垢，在吸嘴被卡住时吸嘴将无法与吸嘴锥形面密切接触，会产生空气泄漏的现象。在此状态下吸嘴将不能正常地吸着部品。这是发生实装精度劣化，吸着错误等的主要原因。 吸嘴反射板 是黑色树脂部分。为防止表面出现污垢而带有一层特殊保护物质。它会反射来自LED的照明灯光进行部品识别。该部分上出现污垢，是造成识别错误的主要原因。 吸嘴座锥形面 吸嘴反射板 吸嘴尖端部 (吸嘴部位) 是直接与部品接触的吸着部分。如果侧面附着有污垢，在识别时会形成阴影，它是造成识别错误的主要原因。另外，吸着孔上出现污垢，也是造成吸着错误的主要原因。 吸嘴尖端部 (吸嘴部位)443C-344E 吸着垫圈 为了更加稳定地完成吸着，有的吸嘴上带有与部品形状一致的吸着垫圈。该吸着垫圈如有裂纹，会引起空气泄漏，它是造成吸着错误的主要原因。 吸着垫圈 吸嘴锥形面 ∗∗∗∗∗吸嘴锥形面 是被卡住移载吸头的吸嘴座部分。锥形面和卡槽内附着污垢、尘埃是造成空气泄漏、卡住不良的主要原因。 443C-310E 卡槽 Page 1-62 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

󰂄 作业工序 1. 吸嘴的拆卸 2. 吸嘴座锥形面的清扫 3. 在爪 (夹具) 上涂敷润滑脂 4. 吸嘴过滤器的清扫 5. 吸嘴的安装 6. 吸嘴配置的再确认 1. 吸嘴的拆卸 请使用<维护动作>画面，把吸头装置移动到维护位置上。然后拆卸吸嘴。 1. 使<维护动作>画面显示。 ( “1.1.2 维护动作”) 2. 将伺服开关置于ON ( I )。 3. 按操作面板上的 置]。 + [芯片排出位3EJM4A-Mp-0088 • 吸头将移动到芯片排出位置上。 芯片排出位置 EJM4A-100E 下一页 前面 Page 1-63

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 打开安全4. 将伺服开关置于OFF (O) 状态，盖。 5. 握住吸嘴反射板的边缘，向移载吸头的正下方拔出。 ∗ 如下图所示，如果横向拉动，吸嘴座爪 (夹具) 可能会脱落。 <吸嘴的不良拆卸方法> 吸嘴座 弹簧 爪 (夹具) 吸嘴 443C-302E ∗ 因压紧夹具的弹簧容易发生变形，所以请不要用手指硬压。 4Z4C-451P Page 1- EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

2. 吸嘴座锥形面的清扫 1. 用蘸有无水酒精的棉棒擦拭吸嘴座锥形面。 吸嘴座锥形面 棉棒 433C-087E ∗ 请擦拭移载吸头的吸嘴座锥形面。 棉棒 4Z4C-452P 3. 在爪 (夹具) 上涂敷润滑脂 1. 把弹簧轻轻地拉。 2. 把爪 (夹具) 向下方拔出。 3. 把润滑脂补充到爪 (夹具) 尖端的油槽内。 ∗ 为避免粘到爪 (夹具) 的周围请把爪 (夹具) 从吸嘴座上卸下，将润滑脂涂在小型一字螺丝刀等工具尖端部补充到爪 (夹具) 上。 ∗ 粘到油槽部位以外的润滑脂，请用棉条擦拭干净。 443C-145P 油槽 3 1 • 使用润滑脂: Barrierta IEL / V ∗ 安装时，请确认爪是否确实地插进油槽内。 2 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-65

CM602-L 维修手册 1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 4. 吸嘴过滤器的清扫 1. 使用专用工具，取出吸嘴过滤器。 吸嘴座 吸嘴过滤器 4H4C-406E 专用工具 4Z4C-425E 2. 用气清扫过滤器。 3. 把吸嘴过滤器套在专用工具上，然后拧到吸嘴座上。 ∗ 因过滤器很小，所以注意别弄掉了。 ∗ 按照此步骤进行过滤器清扫后，如果无法弄干净，请更换过滤器。 吸嘴过滤器 专用工具 4Z4C-426E Page 1-66 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

5. 吸嘴的安装 1. 关闭安全盖，将伺服开关置于ON ( I )。 2. 按操作面板的 置]。 + [芯片排出位3 2EJM4A-Mp-0088 • 吸头将移动到芯片排出位置上。 芯片排出位置 EJM4A-100E前面 3. 按[吸嘴设定]。 请在画面上确认吸• [吸嘴设定]的画面将被显示。嘴配置的同时，进行如下步骤的操作。 4. 将伺服开关置于OFF (O)。打开安全盖。 下一页 EJM4A-C-MMA01-A03-01 Page 1-67

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 移载吸头尖端部 吸嘴座 5. 旋转θ 方向止动器使之面向操作人员一侧。 θ 方向止动器 吸嘴 443C-348P ∗ 在确认吸嘴的方向的同时，请选择止动器的方向以便进行安装作业。 应将θ 方向止动器的突起部位与吸嘴凹∗ 设定时，部的较狭窄的沟槽相一致。否则会降低实装的精度。 6. 安装吸嘴。 刻印 (吸嘴No.) ∗较宽的沟槽 443C-303E ∗∗∗∗较狭窄的沟槽吸嘴锥形面 ∗ 将吸嘴较窄一侧的沟槽与吸嘴座的θ 方向止动器对在一起，同时将吸嘴从正下方垂直上顶，轻轻地推至被夹住的位置。 7. 关闭安全盖。 8. 将伺服开关置于ON ( I )。 Page 1-68 EJM4A-C-MMA01-A03-01

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

6. 吸嘴配置的再确认

吸嘴安装结束后，请再次确认设置在移载吸头上的吸嘴位置和方向。

∗ <吸嘴设定>画面上所显示的是从操作人员一侧所能看到的吸嘴配置状况。

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1.4.4 基板支撑块的清扫 ∗ 虽然在此以高速吸头 (12吸嘴) 为例进行说明，但是高速吸头 (8吸嘴) 、多功能吸头也是同样的步骤。 5分钟 使用工具 毛刷等 需要时间 要求 该维护作业，应在电源开关处于ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业时，请务必使伺服开关处于OFF (O)，并打开安全盖。(打开安全盖可以切断向XY电机的供电) 请按下述步骤清扫基板支撑块。如果落有灰尘等污垢，因基板支撑块的安装不良，而成为基板损伤的原因。 ∗ 该作业只能在AF, BF位置上进行。 ∗ 维护作业时有必要拆卸供料器工作台盖和整体交换台车。 “1.2.2 整体交换台车的拆卸和安装、1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”) ( 1. 确认安全盖已关闭好之后，将伺服开关置于ON ( I )。 2. 使<维护动作>画面显示。 ( “1.1.2 维护动作”) 3. 选择工作台。 4. 按操作面板的 升]。 3 • 基板传送带移动到最大幅度之后，基板支撑块将上升到交换位置上。 + [支撑销更换上4 EJM4A-Mp-0087 下一页 Page 1-70 EJM4A-C-MMA01-A03-00

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

5. 将伺服开关置于OFF (O)。 6. 打开安全盖。 EJM4A-001P • 防止作业过程中污物进入到照相机透镜内。 基板支撑块 线路照相机 (棉纱布的下面) 7. 将棉纱布覆盖在线路照相机上。 锁定把手 8. 压下锁定把手后，将基板支撑块向外侧拉出。 ∗ 请用双手慢慢地拔出。 ∗ 请注意勿在线路照相机 (LED照明上) 上掉落灰尘或使其遭到碰撞。 9. 使用毛刷等清扫工具，清除基板支座及基板支撑块里的污物。 10. 从外侧插入基板支撑块。 4X3C-411P • 请注意要与原来的方向一致。 11. 取下在步骤7.中覆盖在线路照相机上的棉纱布。 下一页 EJM4A-C-MMA01-A03-00 Page 1-71

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 12. 关闭安全盖。 SERVOOFF ( )ON ( ) 13. 将伺服开关置于ON ( I )。 14. 按操作面板上的 下降]。 + [支撑销更换下降14 EJM4A-Mp-0087 • 基板支撑块一直会下降到原点位置。 Page 1-72 EJM4A-C-MMA01-A03-00

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

1.4.5 线路照相机玻璃罩的清扫 使用工具 棉纱布等 需要时间 1分钟 要求 该维护作业，应在电源开关处于ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业时，请务必使伺服开关处于OFF (O)，并打开安全盖。(打开安全盖可以切断向XY电机的供电) 请按下述步骤，清扫线路照相机玻璃罩。玻璃罩上附着灰尘等污物，是产生识别错误的主要原因。∗ 在维护作业时有必要拆下供料器工作台上的盖。 “1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”) ( 1. 将伺服开关置于OFF (O)。 2. 打开安全盖。 3. 将臂往里面推。 4. 清除线路照相机玻璃照明罩上的灰尘等污物。 玻璃 遮光板 ∗ 请注意勿使遮光板发生变形。遮光板发生变形，是产生识别错误的主要原因。 ∗ 请使用软棉纱布清扫玻璃罩。同时，请注意不要让玻璃罩的表面受到损伤。若玻璃罩受到损伤，则照相机有无法正常拍摄的危险。 5. 关闭安全盖。 4Z4C-496P 6. 将伺服开关置于ON ( I )。 EJM4A-C-MMA01-A03-00 Page 1-73

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕 1.4.6 线路照相机透镜玻璃罩的清扫 使用工具 棉纱布等 需要时间 5分钟 透镜玻璃罩上附着芯片、污物是造成线路照相机在识别芯片零件时发生错误的主要原因。请定期进行玻璃罩的清扫。 ∗ 维护作业时有必要将供料器工作台盖拆下。 “1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”) ( 停止空1. 将电源开关置于OFF (O) 的同时，气的供给。 ∗ 请锁上电源开关和主空气阀。 2. 打开安全盖。 3. 将臂往里面推。 EJM4A-132E 4. 确认吸头、吸嘴未落下，然后握住臂的中心部位，轻轻地推到内侧。 5. 用棉纱布等从照明和线性照相机之间擦拭灰尘。 ∗ 请从左侧或前侧擦拭灰尘。 • 可以在筷子状的细棒上绑上棉纱布轻轻地擦拭玻璃罩的表面，但在擦拭时绝对不可用力，或使用溶剂。另外，请不要使用金属性质的细棒。玻璃罩的表面附有防止反射的涂层膜，涂层膜如果因溶剂或摩擦产生损伤，则照相机有无法正常拍摄的危险。 EJM4A-045P 6. 关闭安全盖。 7. 将电源开关置于ON ( I )。 Page 1-74 EJM4A-C-MMA01-A03-00

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1.4 140小时检查一次〔一周一次〕

1.4.7 供料器的安装面的清扫 使用工具 吸尘器·毛刷等 需要时间 1分钟 要求 该维护作业，应在电源开关处于ON ( I ) 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业时，请务必使伺服开关处于OFF (O)，并打开安全盖。(打开安全盖可以切断向XY电机的供电) 在将供料器安装到整体交换台车之前，请按照如下顺序对安装面进行清扫。安装面附着污物，是发生吸着等错误的主要原因。 1. 将伺服开关置于OFF (O)。 2. 打开安全盖。 安装面 3. 用吸尘器和毛刷等清扫安装面。 • 清扫时请不要使用气。污物等一旦飞散到机器内部会引发实装质量恶化或机械故障。 4Z4C-15XYC1AA EJM4A-C-MMA01-A03-00 Page 1-75