化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法[发明专利]

来源：九壹网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光

致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法

专利类型：发明专利发明人：朴贤旻,林敏映申请号：CN201980010872.7申请日：20191011公开号：CN111670177A公开日：20200915

摘要：本说明书提供了化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。

申请人：株式会社LG化学

地址：韩国首尔

国籍：KR

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

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