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专利名称：光生酸剂、其制备方法以及含有该光生酸剂的抗蚀
剂组合物
专利类型：发明专利
发明人：韩俊熙,朱炫相,申珍奉,任铉淳申请号：CN2011101519.3申请日：20110601公开号：CN102279521A公开日：20111214
摘要：本发明提供一种光生酸剂、其制备方法、以及包含该光生酸剂的抗蚀剂组合物。该光生酸剂是由下式1表示的化合物：[式1]其中，在式1中，Y表示选自具有3至30个碳原子的环烷基和具有3至30个碳原子的环烯基中的任一种；Q和Q各自地表示卤素原子；X表示选自烷烃二基、烯烃二基、NR′、S、O、CO及其组合中的任一种；R′表示选自氢原子和烷基中的任一种；n表示0至5的整数；且A表示有机反离子。该光生酸剂在曝光时能够产生酸，所述酸具有低的扩散速率、短的扩散距离和适中的酸度，从而能够改善线宽粗糙度(LWR)特性，并且能够控制其在处理中所用的诸如纯水的溶剂中的洗脱。
申请人：锦湖石油化学株式会社
地址：韩国首尔市
国籍：KR
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
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