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专利名称：转换阀装置专利类型：发明专利发明人：玉木茂男,梅田浩辅申请号：CN03826799.3申请日：20030714公开号：CN18125A公开日：20060809
摘要：本发明涉及用于真空吸附半导体芯片等构件的转换阀装置，目的是迅速并顺畅地进行真空破坏。具备：真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；以及，与真空吸附用转换阀功能单元的动作联动，在真空吸附用转换阀功能单元断开时开放通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道的大气开放用转换阀功能单元。将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元一体地组装到本体中。
申请人：黑田精工株式会社
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：黄剑锋
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