财 文章编号：１００１—９７３１（２０１７）０４—０４１００—０５ 抖 ２０１７年第４期（４８）卷 碳纤维织物增强树脂基摩擦材料摩擦学性能研究 李 辉 ，杜建华 ，王浩旭。，吕莹莹。，杨宏伟 （１．装甲兵工程学院技术保障工程系，北京１０００７２； ２．装甲兵工程学院科研部，北京１０００７２；３．北京科技大学材料科学与工程学院，北京１０００８３） 摘 要： 采用２．５Ｄ浅交弯联碳纤维整体织物作为预制体，以酚醛树脂为基体，通过热压成型工艺制备了碳纤维 整体织物结构增强树脂基复合材料。通过ＭＳＴ一３００１摩擦磨损试验机分别考核了干式与湿式条件下复合材料的 摩擦磨损性能；采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、３Ｄ激光扫描形貌仪观测了材料的表面形貌。结果表明，干式摩擦条 件下，动摩擦系数波动范围０．１２～０．２６，随着转速的增加摩擦系数先降低后升高，随着载荷的增加摩擦系数变化 不明显。湿式摩擦条件下，动摩擦系数波动范围０．０８～０．１３，随着转速和栽荷的增加，摩擦系数降低。在连续摩 擦状态，干式工况条件下动摩擦系数波动较大，湿式工况条件下动摩擦系数非常平稳。干式摩擦状态时，材料的 主要磨损形式为磨粒磨损，而湿式摩擦时主要发生磨粒磨损和疲劳磨损。 关键词： 碳纤维；２．５Ｄ织物；摩擦磨损；热压成型；摩擦材料 中图分类号：ＴＢ３３２ 文献标识码：Ａ ＤＯＩ：１０～９６９／Ｉ．ｉｓｓｎ．１（）（）１ ９７３１．２０１７．０４．０１７ ０ 引 言 纤维增强树脂基摩擦材料是继半金属摩擦材 维拔出与断裂。张兆民［｛｝ 等研究了编织密度对树脂基 摩擦材料摩擦学性能的影响，结果表明，编织密度过 料ｌ１］、粉末冶金摩擦材料＿２］、碳／碳摩擦材料 ］、陶瓷基 摩擦材料ｌ４ 和纸基摩擦材料［５ 之后出现的一种新型 高性能摩擦材料。作为摩擦片的主要构成部分，其高 而稳定的摩擦系数、良好的耐磨性、优良的机械性能和 低的摩擦噪音受到了国内外学者的广泛关注。但因基 大，会造成摩擦材料摩擦系数减少，磨损率升高。张建 民ｌｌ 等采用溶液浸渍和真空辅助工艺制备了２．５Ｄ碳 纤维机织物增强酚醛树脂基摩擦材料，剪切强度达到 ２６２ ＭＰａ，弯曲应力达７２９ ＭＰａ。 本文采用２．５Ｄ浅交弯联碳纤维整体织物作为预 制体，采用热压成型工艺，制备碳纤维增强酚醛树脂基 摩擦材料。研究了摩擦材料在干式摩擦和油润滑条件 下的摩擦磨损性能和磨损机理，以期为碳纤维整体织 物增强树脂基摩擦材料的研究提供理论依据和参考。 体为有机结构，所以纤维增强树脂基摩擦材料的导热 系数和耐热性能成为其应用范围的重要因素０ 。 为此，引入２．５Ｄ或三维碳纤维整体织物结构作为树脂 基复合材料的增强预制体。其中，碳纤维具有良好的 导热性能、耐磨性能和机械强度ｌ】 ”］。２．５Ｄ织物结构 与叠层２Ｄ织物、长纤维、短纤维、针刺碳毡相比有更 １ 实 验 １．１ 试样制备 采用日本东丽公司生产的ＰＡＮ基Ｔｏｒａｙ Ｔ３００ 好的整体性［３ 。 ；与３Ｄ织物结构相比 ］，制备工艺简 单，制造成本低。２．５Ｄ碳纤维整体织物结构增强树脂 基摩擦材料，有着更高的有序性、紧密性和整体性，既 可作为整体结构提高复合材料的承载能力，同时还能 防止材料在摩擦过程中出现分层开裂现象。 复合材料的成分、成型工艺、织物结构和工况条件 都是整体织物结构增强复合材料摩擦学性能和摩擦磨 ３Ｋ碳纤维（简称Ｔ３００）和山东宇世巨化工有限公司的 ＰＦ—ＹＳＪ一００２６Ｅ型酚醛树脂。将碳纤维按照２．５Ｄ浅交 弯联结构（如图１所示）编织形成预制体，编织经密８ 根／ｃｍ、纬密４根／ｃｍ，编织层数为３层。采用热压成 型工艺，将酚醛树脂与２．５Ｄ碳纤维整体织物结构预制 体进行复合，制备碳纤维增强酚醛树脂基摩擦材料。 材料的基本物理性能参数，如表１所示。 加工复合材料的热压成型流程为，将纤维预制体 与树脂胶液一起放入热压腔体，压机压力在１ ｈ内匀 速升至２ ＭＰａ，树脂充满模腔，保压２０ ｈ至开模。成 损机理研究的热点问题。天津工业大学杨彩云 等将 碳纤维角联锁结构和三向正交结构应用于ｃ／ｃ摩擦 材料的制备，分别获得了０．４Ｏ和０．４８的稳定摩擦系数 和较低的磨损率，证明了ｚ向纤维有利于提高摩擦系 数并降低磨损率。费杰ｌｌ 等采用ＭｏＳ。改性处理碳布 制备摩擦材料，ＭｏＳ 的加入有效减少磨损过程中的纤 ＊型温度在７ ｈ内匀速升至１７５。Ｃ，保温２ ｈ后自然冷却 基金项目：科研资助项目（２Ｏ１５Ｙｃ０５） 收到初稿日期：２０１６－０９—１０ 收到修改稿日期：２０１６－１０—１２ 通讯作者：李 辉，Ｅ ｍａｉｌ：ｌｉｈｕｉ８８１１１１＠１２６．ｃｏｒｎ 作者简介：李辉 （１９８８一），男，河南沁阳人，博士研究生，师承杨宏伟教授，从事纤维增强摩擦材料研究。 竺— ：： 型 盟型 ｌｌ Ｊ！ ： — ～ １．２ 实验方法 惯 制衙的复合材料Ｊ占小物 一 能参数．奠¨丧ｌ ，Ｊ 峄擦睽损 佯为０７ｏ ＩＩ）ｎ／＿… 。 罔 他ＪＩ Ｊ、 州华汀：科技仃限公ＩＪ ＭＳＴ３００１销蕊式 （１ ｉ １ ０１１ ｄｉｓｋ）唯擦孵ｊ＿｝ｉ试验仪进行 擦縻 性能分 Ｊ 掩刚和ｉＪ｛＝验仪构成的示： ２ ｒ ｛ｎ１ ：昕，Ｊ 。对 Ｕ Ｈ ● 料为０５ ｒＩ１ｎ１ ＧＣｒ 钢球 试验转速为 （）．７５０． ｊ（…ｃ）ｆ¨ｌ （）ｒ ｎ１Ｉｒ】．旋转半径３０ ｍｎ１．埘Ｊ 的ｆ｝ｆ对滑 ２ 父 动线迷 分圳为１．ｊ７．２．３６．３．１４和Ｉ１．７１『１１ ：试验裁 ，弯¨ ７．５．１ ｌ ｆ『Ｉ １ ５ Ｎ。十式哮擦试验ｈ接采ｊ＋】曙擦材 ｇ 联 日 ， ¨儿 “ 料 ｆ ｆ＝＝ｌ｛：进｛ ． 式峰抹试验需将 ｆ、Ｉ蕊 １ ＯＷ ３０ Ｆ ｌ ‘机汕ｒｆｔ 泡２ ｌ ｈ。分别测 材料的 撩系数 ｊ Ｊ耪ｊ．｝！ ９ ｊ 士口 Ｌ一 ｒ 表１ 材料物理性能 示 Ｉ、 【ｌ１ｌ Ｌ，１ Ｉ ｌ１ｙ ｉ（’ｆ【ｌ ｐ ｒｏ１）ｃｒｔｉ ｃ、、（）ｒ Ｌ 【）１ｎｌ￣ｏｓｉＩｃ ｍａｔｅｒｉａｌｓ 意 纤维 ｛００— Ｋ 目 经管 图 ２ 密度 ｇ’ｃｎ ２ 癌 ｋ 树脂含量 Ｗｔ 纤维含量 ＷＩ Ｍ … Ｓ Ｃ 压缩强度 Ｔ ／ＭＰａ 硬度 ＩｌＩＩ之Ｌ （） 根・Ｌ Ｉｌｌ 恨・ ｌ ｌＪｊ３ ｇ １ ８ ８２ …１Ｍ ４８ Ｓ 擘 臻＿ｖ 萎＝ 损 战 ＿ ＿） 凡 １ ．一 ｋ 枣图 ” ｅ ｒ 采川（）Ｉ Ｓ１（）（）（） ３Ｄ激比¨椭Ｊ 貌仪观察睁撩材 料太 捌 肜貌。采川 … ２（）（ ）的 ｆ描【Ｕ ｒ 微镜（ＳＥＭ）观测材料磨 Ｊ Ｌｊ 抹Ｊ ｉ ｌ ｆ 。 数降低 这址Ｉ 为 卡¨对转速较低ｌＩ、Ｊ‘．随打转述的增 加接触 ¨１ 【糙峰啮合 度降低． 擦刷贴合状态较 ， 微观形貌．以分析 …［ｉ１ｆ 撩产，¨门热：１ 增ＪＪⅡ．使树ｊ】：彳 怵Ｊ 高温 软化． 抹『５ｌ【 减小．悸擦系数降低 陋 转速的继续 ２结果与讨论 ．增Ｊ Ｊｌ【． 撩Ｊ ｔ－的热缱 摩擦衷面干Ｊｌ ．他坩脂坫体发 形．增ＪＪ【Ｉ 撩阻力．摩擦系数升 ， 擦曲线 ｆ …州Ｊ’ｆｉＪＪ Ｉ枷，Ｊ拐点。转速较低时随行栽简的增大． Ｊ夸撩刈ｆｌｌ５ 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２０１５，４３（１１）：５２－５５． ｍ Ｓ Ｓ，Ｙｕ Ｈ Ｎ，Ｈｗａｎｇ Ｉ Ｕ，ｅｔ ａ１．Ｔｈｅ ｓｌｉｄｉｎｇ ｆｒｉｃ— ［１４］ Ｋｉ张建民，卢雪峰，钱坤，等．新型深交联结构碳纤维机织 ｔｉｏｎ ｏｆ ｈｙｂｒｉｄ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｊｏｕｒｎａｌ ｂｅａｒｉｎｇ ｕｎｄｅｒ ｖａｒｉｏｕｓ 物酚醛树脂基摩擦材料及其制备方法ＥＪ］．化工新型材 料，２０１５，４３（１１）：５２－５５． ｔｅｓｔ ｅｏｎｄｉｔｉｏｎｓＦＪ］．Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｌｅｔｔｅｒｓ，２００９，３５：２１１－２１９． Ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｆ ｔｒｉｂｏｌｏ ｃａｌ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ｒｅｓｉｎ ｍａｔｒｉｘ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ ｂｙ ｗｏｖｅｎ ｆａｂｒｉｃ ｏｆ ｃａｒｂｏｎ ｆｉｂｅｒ ＬＩ Ｈｕｉ ，ＤＵ Ｊｉａｎｈｕａ ，ＷＡＮＧ Ｈａｏｘｕ ，ＬＹＵ Ｙｉｎｇｙｉｎｇ。，ＹＡＮＧ Ｈｏｎｇｗｅｉ （１．Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ Ｓｕｐｐｏｒｔ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ａｒｍｏｒｅｄ Ｆｏｒｃｅ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｂｅｉｊｉｎｇ １０００７２，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｒｅｓｅａｒｃｈ，Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ａｒｍｏｒｅｄ Ｆｏｒｃｅ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｂｅｉｊｉｎｇ １０００７２，Ｃｈｉｎａ； ３．Ｓｃｈｏｏ１ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｂｅｉｊｉｎｇ，Ｂｅｉｊｉｎｇ １０００８３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｐｈｅｎｏｌｉｃ ｒｅｓｉｎ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ ｂｙ ２．５Ｄ ｗｏｖｅｎ ｆａｂｒｉｃ ｏｆ ｃａｒｂｏｎ ｆｉｂｅｒ ｗｅｒｅ ｐｒｅｐａｒｅｄ ｂｙ ｈｏｔ ｐｒｅｓｓｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ．Ｄｒｙ ｔｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ａｎｄ ｗｅｔ ｔｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｅ ｍａｔｅｒｉａｌ ｗｅｒｅ ｅｖａｌｕａｔｅｄ ｂｙ ＭＳ—Ｔ３００１ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ａｎｄ ｗｅａｒ ｔｅｓｔｅｒ．Ｓｕｐｅｒｆｉｃｉａ１ ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｍａｔｅｒｉａｌ ｗａｓ ｏｂｓｅｒｖｅｄ ｂｙ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅ— ｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＳＥＭ）ａｎｄ ｔｈｒｅｅ—ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｌａｓｅｒ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ．Ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｕｎｄｅｒ ｔｈｅ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ ｏｆ ｄｒｙ ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ ｆｉｒｓｔｌｙ ａｎｄ ｔｈｅｎ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｓｌｉｄｉｎｇ ｓｐｅｅｄ ｂｕｔ ｈａｄ ｎｏ ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔ ｃｈａｎｇｅｓ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ ｏｆ ｗｏｒｋ ｌｏａｄ．Ｔｈｅ ｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎ ｉｎｔｅｒｖａｌ ｏｆ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｉｓ ０．１２－０．２６．Ｕｎｄｅｒ ｔｈｅ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ ｏｆ ｗｅｔ ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｓｌｉｄｉｎｇ ｓｐｅｅｄ ａｎｄ ｗｏｒｋ ｌｏａｄ．Ｔｈｅ ｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎ ｉｎｔｅｒｖａｌ ｏｆ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｉｓ Ｏ．０ ８—０．１ ３．Ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｃｏ— ｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ａｎｄ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｈａｄ ｃｏｎｓｉｄｅｒａｂｌｅ ｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎ ｕｎｄｅｒ ｔｈｅ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ ｏｆ ｄｒｙ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ａｎｄ ｋｅｅｐ ｓｔａｂｌｅ ｕｎｄｅｒ ｔｈｅ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ ｏｆ ｗｅｔ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｉｎ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ．Ａｂｒａｓｉｖｅ ｗｅａｒ ｉｓ ｔｈｅ ｍａｉｎ ｆｏｒｍ ｏｆ ｗｅａｒ ｆｏｒ ｄｒｙ ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｂｕｔ ｉｎ ｗｅｔ ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｗｈｏｓｅ ｍａｉｎ ｗｅａｒ ｆｏｒｍ ｉｓ ａｂｒａｓｉｖｅ ｗｅａｒ ａｎｄ ｆａｔｉｇｕｅ ｗｅａｒ． Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｃａｒｂｏｎ ｆｉｂｅｒ；２．５Ｄ ｗｏｖｅｎ ｆａｂｒｉｃ；ｆｒｉｃｔｉｏｎ ａｎｄ ｗｅａｒ；ｈｏｔ ｐｒｅｓｓｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ；ｆｒｉｃｔｉｏｎ ｍａｔｅｒｉａｌ （上接第０４０９９页） Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｓｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ Ｃｕ２ ０ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ ｐｒｅｐａｒｅｄ ｂｙ ｄｉｒｅｃｔ ｃｕｒｒｅｎｔ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｍａｇｎｅｔｒｏｎ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ ＷＡＮＧ Ｊｉｎｘｉａ 。ＨＯＮＧ Ｒｕｉｊｉｎ 一，ＺＨＡＮＧ Ｔａｏ ，ＴＡＯ Ｃｈｕｎｘｉａｎ ，ＺＨＡＮＧ Ｄａｗｅｉ ＇ （１．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ—Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ａｎｄ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｈａｎｇｈａｉ ｆｏｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ ２０００９３，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ Ｏｐｔｉｃａ１ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｎｄ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｃｅｎｔｅｒ Ｓｈａｎｇｈａｉ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｏｒｙ ｏｆ Ｍｏｄｅｒｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ，Ｓｈａｎｇｈａｉ ２０００９３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃｕｐｒｏｕｓ ｏｘｉｄｅ（Ｃｕ２ Ｏ）ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ ｗｅｒｅ ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ ｂｙ ＤＣ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｍａｇｎｅｔｒｏｎ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ ａｔ ｒｏｏｍ ｔｅｍ— ｐｅｒａｔｕｒｅ．Ｅｆｆｅｃｔｓ ｏｆ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｏｎ ｃｒｙｓｔａｌ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｐｈａｓｅ ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ，ｓｕｒｆａｃｅ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ，ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ ａｎｄ ｓｕｒｆａｃｅ—ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｒａｍａｎ ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｃｕ２ Ｏ ｆｉｌｍｓ ｗｅｒｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ ｂｙ Ｘ—ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ （ＸＲＤ），ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＡＦＭ），ｆｏｕｒ—ｐｒｏｂｅ ｔｅｓｔｅｒ ａｎｄ Ｒａｍａｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｓｉｎｇｌｅ—ｐｈａｓｅ ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｃｕ２ Ｏ ｆｉｌｍ ｉｓ ｏｂｔａｉｎｅｄ ａｔ ｔｈｅ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｏｆ ３ ａｎｄ ６ ｍｉｎ． Ｔｈｅ ｐｈａｓｅｓ ｏｆ Ｃｕ２ Ｏ ｆｉｌｍｓ ｖａｒｙ ｆｒｏｍ ａｍｏｒｐｈｏｕｓ ｔｏ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｐｒｅｆｅｒｒｅｄ ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ ｉｎ（１ １ １）ｐｌａｎｅ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ．Ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅｓ ｏｆ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ ｃｏｎｓｉｓｔ ｏｆ ｄｅｎｓｅｌｙ ｓｐｈｅｒｉｃａｌ ｇｒａｉｎｓ ａｎｄ ｔｈｅ Ｒｏｏｔ ｍｅａｎ ｓｑｕａｒｅ（ＲＭＳ）ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ ａｓ ｔｈｅ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ．Ｔｈｅ ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ．Ｗｉｔｈ ｔｈｅ Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ Ｂ（ＲｈＢ）ａｓ ｔｈｅ ｐｒｏｂｅ ｍｏｌｅｃｕｌｅ，Ｒａｍａｎ ｓｃａｔｔｅｒｅｄ ｓｐｅｃｔｒｕｍ ｗａｓ ｄｅｔｅｃｔｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ．Ｂｙ ｃｏｍ— ｐａｒｉｓｏｎ ｏｆ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｓａｍｐｌｅｓ，ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅ ｔｈｅ Ｒａｍａｎ ｓｉｇｎａｌ ｗａｓ ｅｎｈａｎｃｅｄ ｂｙ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｉｎ— ｃｒｅａｓｅｄ． Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ；ｃｕｐｒｏｕｓ ｏｘｉｄｅ；ＤＣ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｍａｇｎｅｔｒｏｎ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ；ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｉｍｅ； ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ；Ｒａｍａｎ
