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专利名称：数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置专利类型：发明专利
发明人：范琦,杨鸿儒,黎高平,陆琦申请号：CN200910023813.1申请日：20090907公开号：CN101650163A公开日：20100217
摘要：本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是，首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数，以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣；然后，再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析，其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计，并用于数字干涉条纹图像的移频，从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外，基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析，而且检测装置结构组成简单，测量实时性好。
申请人：中国兵器工业第二〇五研究所
地址：710065 陕西省西安市电子三路西段9号
国籍：CN
代理机构：陕西电子工业专利中心
代理人：赵振红
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