一种卧式扩散炉快速降温炉体

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201510635912.0 （22）申请日 2015.09.30

（71）申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所

地址 410111 湖南沙市天心区新开铺路1025号

（10）申请公布号 CN105222597B

（43）申请公布日 2017.06.13

（72）发明人 刘良玉;彭宜昌;张宝峰;曹骞;贾京英 （74）专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)

代理人 周长清

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种卧式扩散炉快速降温炉体

（57）摘要

本发明公开了一种卧式扩散炉快速降

温炉体，包括反应石英管和套设于反应石英管外的电阻炉体，反应石英管外壁与所述电阻炉体内壁之间具有横截面为环形的柱状间隙，柱状间隙的两端均设有密封件以使所述柱状间隙形成封闭的通风通道，电阻炉体上设有向所述通风通道送风的进风口和将所述通风通道内的热风排出的出风口。本发明具有可快速降温功能并可以减少温度波动对半导件影响的优点。 法律状态

法律状态公告日

2016-01-06 2016-02-03 2017-06-13

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

法律状态

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说明书

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