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专利名称：用于调节压电谐振器频率的方法专利类型：发明专利发明人：中福祥人申请号：CN01123284.6申请日：20010706公开号：CN1343042A公开日：20020403
摘要：用于校正压电谐振器频率的方法允许在完成谐振器之前对在压电基底上的多个元件的每一个元件个别地进行频率调节。此外,该频率调节在相对短时间内以高精度进行。当调节每个元件的频率时,离子束照射到排列在压电基底上的多个电极以便蚀刻该电极。该方法包括步骤:确定离子束照射时间和频率变化量之间的相关性;测量排列在压电基底上的每个元件的频率;根据测量的频率值和目标频率值之间的差值确定对每个元件的频率调节量;根据确定的频率调节量,通过利用相关性来确定对每个元件的离子束照射时间;和在确定的离子束照射时间期间将离子束照射到该元件。
申请人：株式会社村田制作所
地址：日本京都府
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所
代理人：沈昭坤
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