半导程机台

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN02143416.6 （22）申请日 2002.09.25

（71）申请人 矽统科技股份有限公司

地址 省新竹科学园区

（10）申请公布号 CN1485883A （43）申请公布日 2004.03.31

（72）发明人 张远光;吴锦龙;林沧荣;陈立仁;陈钦聪 （74）专利代理机构 北京三友知识产权代理有限公司

代理人 刘领弟

（51）Int.CI

H01L21/00;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

半导程机台

（57）摘要

一种半导程机台。为提供一种可有效

防止误用、避免因交流互混导致机台污染、成本低的半导造装置，提出本发明，它具有区分为一般区域、隔离区域的复数站别、第一、二晶圆承载容器及晶圆抽换机构；各站别分别设有用以承接第一、二晶圆承载容器的第一、二承接埠；第一、二晶圆承载容器分别包括设有卡合孔的上盖及数个与上盖上卡合孔相对应的卡合件、

卡合沟的底盘；第一晶圆承载容器底盘上的卡合沟转动起点系与第二晶圆承载容器卡合沟转动起点相反；第一、二承接埠顶面分别设有两第一、二插销，其内分别设有用于转动第一、二插销的第一、二转动机构；设置于第一承接埠内的第一转动机构转动方向与第二承接埠的第二转动机构转动方向相反。

法律状态

法律状态公告日2004-03-31 2004-06-09 2006-07-12

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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