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专利名称：一种偏振分光棱镜组及光刻机专利类型：发明专利发明人：翟思洪
申请号：CN201811425822.9申请日：20181127公开号：CN111221138A公开日：20200602
摘要：本发明实施例公开了一种偏振分光棱镜组及光刻机。该偏振分光棱镜组包括第一双折射棱镜；第二双折射棱镜，第二双折射棱镜的入射面与第一双折射棱镜的出射面直接接触，形成交界面；一束光线以预设角度从第一双折射棱镜的入射面入射，经过交界面进入第二双折射棱镜，并分成偏振态相互垂直的两束偏振光，两束偏振光中的一束经过第二双折射棱镜的第一出射面出射，另一束在第二双折射棱镜的第一出射面全反射后经过第二双折射棱镜的第二出射面出射；其中，光线的入射方向与第一双折射棱镜的光轴方向垂直。本发明实施例的技术方案，解决现有沃拉斯顿棱镜出射的两束线偏振光的分离角较小的问题，实现高纯度线偏振光输出，利于光刻机的光路设计及集成。
申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：孟金喆
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