一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910218612.0 （22）申请日 2019.03.21 （71）申请人 西安交通大学

地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号

（10）申请公布号 CN109980080A

（43）申请公布日 2019.07.05

（72）发明人 陈花玲;李卓远

（74）专利代理机构 西安通大专利代理有限责任公司

代理人 徐文权

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法

（57）摘要

本发明涉及一种堆栈式介电弹性体作动器

制作方法，包括以下步骤：首先，利用流延制膜机将配好的液态硅橡胶溶液均匀地涂覆在PET薄膜上，形成膜；切割出多个作动器电极的形状，作为制作电极层时的掩膜版；将掩膜版紧密贴合在硅橡胶表面，然后将液态导电材料均匀地涂覆在掩膜板和硅橡胶膜的表面形成厚度确定的电极层；电极层制作好后将掩膜板揭下，并加热使其固化；然后再在电极层上面流延一层硅橡胶薄

膜，重复上述步骤，得到一块包含多个堆栈式作动器的硅橡胶；用切刀切割得到多个堆栈式作动器完成堆栈式介电弹性体作动器的制作。本发明操作简单、可复现，电极层与作动层之间贴合性好，作动器工作性能稳定，应用前景广阔。

法律状态

法律状态公告日

2019-07-05 2019-07-05 2019-07-30

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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