电容式传感器及其制造方法和操作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2012102693.0 （22）申请日 2012.07.31 （71）申请人 三星电子株式会社

地址 韩国京畿道

（10）申请公布号 CN102956810A

（43）申请公布日 2013.03.06

（72）发明人 金载兴

（74）专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

代理人 张波

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

电容式传感器及其制造方法和操作方法

（57）摘要

本发明提供一种电容式传感器及其制造方

法和操作方法。该电容式传感器包括：第一掺杂区；第二掺杂区，具有与第一掺杂区相反的导电性并包括第一振动部分；以及空置空间，设置在第一掺杂区与第一振动部分之间，其中第一和第二掺杂区是整体的。该振动部分包括多个通孔，并且用于密封多个通孔的材料膜设置在振动部分上。

法律状态

法律状态公告日

2013-03-06 2013-03-06 2014-09-03 2014-09-03 2017-09-29

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

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说明书

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