用于无定型碳膜的化学气相沉积的液体前驱体

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200580006997.0 （22）申请日 2005.02.24 （71）申请人 应用材料公司

地址 美国加利福尼亚州

（10）申请公布号 CN1930320A （43）申请公布日 2007.03.14

（72）发明人 马丁·杰伊·瑟默恩斯;温迪·H·叶;苏达哈·S·R·拉蒂;迪奈什·帕德海;安迪(信朝)·路安;萨姆-叶·贝蒂·唐;普里亚·库尔卡尼;维斯瓦思瓦伦·西瓦诺马克斯南;金博宏;海澈姆·穆萨德;玉香·梅·王;迈克尔·丘·宽

（74）专利代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人 赵飞

（51）Int.CI

C23C16/26; C23C16/505;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

用于无定型碳膜的化学气相沉积的液体前驱体

（57）摘要

本发明提供了用于沉积无定型碳材料的方

法。在一个方面中，本发明提供一种处理衬底的方法，该方法包括：在处理室中放置所述衬底；将处理气体引入所述处理室，其中，所述处理气体包括载气、氢气和一种或多种烃化合物或其衍

生物；通过从双频RF源施加功率产生所述处理气体的等离子体；以及在所述衬底上沉积无定型碳层。

法律状态

法律状态公告日

2007-03-14 2007-05-16 2009-09-23

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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