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专利名称：一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具专利类型：实用新型专利发明人：周毅,张正伟
申请号：CN202021601090.7申请日：20200805公开号：CN212665835U公开日：20210309
摘要：本实用新型公开了一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧，将本治具装配预紧完成，然后将Dome从上托架口放入治具内至Dome下端接触矩形弹簧，调整Dome的下环面至上托架的装配槽口内，然后在将双手从上托架1上的两个抓取槽中拿出来，这样Dome就被平稳的固定在治具内完成下一步的清洗作业和周转运输。
申请人：安徽富乐德科技发展股份有限公司
地址：244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区
国籍：CN
代理机构：铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人：李坤
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