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结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统[发明专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及

系统

专利类型:发明专利

发明人:郝群,胡摇,陶鑫,宁悦文申请号:CN201911158883.8申请日:20191122公开号:CN110686617A公开日:20200114

摘要:结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。

申请人:北京理工大学

地址:100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学

国籍:CN

代理机构:北京市中闻律师事务所

代理人:冯梦洪

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