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专利名称:结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及
系统
专利类型:发明专利
发明人:郝群,胡摇,陶鑫,宁悦文申请号:CN201911158883.8申请日:20191122公开号:CN110686617A公开日:20200114
摘要:结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
申请人:北京理工大学
地址:100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
国籍:CN
代理机构:北京市中闻律师事务所
代理人:冯梦洪
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