专利名称：晶圆研磨设备专利类型：实用新型专利发明人：周小红,蒋阳波申请号：CN201820780456.8申请日：20180523公开号：CN208428101U公开日：20190125
摘要：本实用新型涉及一种晶圆研磨设备，包括：两个以上的研磨腔室，各个研磨腔室之间相互连通并且所述各个研磨腔室包括用于放置晶圆的承载盘；腔室挡板，可升降地安装于各个研磨腔室之间，当所述腔室挡板处于升起状态时，分离各个研磨腔室。所述晶圆研磨设备能够减少研磨过程中的晶圆缺陷，降低设备保养成本和保养时间。
申请人：长江存储科技有限责任公司
地址：430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
国籍：CN
代理机构：上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：董琳
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